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超聲波掃描顯微鏡SAM 600

產(chǎn)品類別:超聲波掃描顯微鏡C-SAM

產(chǎn)品型號:S600

產(chǎn)品描述:

超聲掃描顯微鏡(SAT)是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測成像設(shè)備,主要利用高頻超聲波,對各類半導體器件、材料進行檢測,能夠檢測出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷,并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中,不會對樣品造成損傷,不會影響樣品性能,可有效滿足新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業(yè)需求。

服務熱線:400-630-6556

  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • X-ray成像

產(chǎn)品特點:

1、具備A(點掃描)、B(縱向掃描)、C(橫向掃描)、透射掃描(需配置透射掃描單元及接收探頭選項)、多層掃描、Tray-托盤掃描,厚度測量等系列掃描模式。

2、具備定量測分析功能,以圖像方式直觀顯示被測件內(nèi)部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統(tǒng)計,自動計算缺陷占所測量面積的百分比;具備缺陷尺寸標識;厚度與測距等功能。

3、具備圖像著色功能,可根據(jù)相位翻轉(zhuǎn)自動著色;可根據(jù)灰度等級手動著色;可根據(jù)厚度變化,自動著色;

4、適用于單個器件的快速掃描分析,也可批量放置樣品同步進行缺陷識別,快速篩選出不合格品。

5、可兼容1~230MHz的超聲探頭。

6、檢測軟件自主研發(fā),中英文界面,可根據(jù)客戶需求對功能進行持續(xù)升級。

行業(yè)應用:

鋰電池、塑封IC、光電器件、微波功率器件、MEMS器件、倒裝芯片、堆疊Stacked Die、MCM多芯片模塊、金剛石復合片、電器焊接件、陶瓷材料等。

產(chǎn)品參數(shù)


       序號 
機電特性 規(guī)格型號
1 整機尺寸   1000mm×900mm×1400mm 
2 水槽尺寸 620mm×650mm×150mm
3   有效掃描范圍  350mm×300mm×100mm
4   [敏感詞]掃描速度  600mm/s
5 超聲探頭   可兼容1~230MHz的超聲探頭。 
6 定位精度 X/Y≤±0.5μm,Z≤±5μm
7   重復定位精度  X/Y≤±0.01mm,Z≤±0.02mm


產(chǎn)品主要配置表


       序號 
名稱 規(guī)格
1 掃描系統(tǒng)   X軸:直線電機驅(qū)動;Y軸:伺服電機驅(qū)動;Z軸:步進電機驅(qū)動 
2 水槽 620mm x 650mm x 150 mm
3   超聲發(fā)射、接收器  帶寬1-65MHz
4   高速數(shù)據(jù)采集卡  采樣頻率 500MHz
5 工控機 i5處理器、內(nèi)存16GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統(tǒng)。
6 顯示器 兩個27"液晶顯示器
7 檢測軟件 艾蘭特超聲無損檢測軟件

全國服務熱線

400-630-6556

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